玻璃衬底上FePd薄膜的厚度对其结构和磁性能的影响
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- 2021-09-22
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采用磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同厚度的FePd合金薄膜。利用X射线衍射（XRD）,能谱（EDS）和物理性能测试研究了薄膜厚度对结构和磁性能的影响。结果表明,在FePd合金薄膜中有序化过程发生在更厚的薄膜中。随着薄膜厚度从d=22.5 nm增加到d=67.5 nm,面内矫顽力刚开始急剧增大,然后随着薄膜厚度的进一步增加矫顽力会减小。在d=67.5 nm时面内矫顽力最大约为3.2×79.6kA/m。
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